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- Text 1
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Erscheinungsjahr
- 2010 1
Autor/in
- Müller (Physik), M.
- Nielsch, Kornelius 1
- Schreyer, A. 1
- Vainio, Ulla
- Waleczek, Martin 1
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Sprache
- Englisch 1
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Thermal stability of Zirconium Oxide thin-films fabricated by atomic layer deposition
2010 - Forschungsinformationssystem der UHH