Thermal stability of Zirconium Oxide thin-films fabricated by atomic layer deposition
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- Erscheinungsjahr:
- 2010
- Medientyp:
- Text
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-
- info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
- Quellsystem:
- Forschungsinformationssystem der UHH
Interne Metadaten
- Quelldatensatz
- oai:www.edit.fis.uni-hamburg.de:publications/39642fa9-cbc4-4935-82ab-ca7d55610e32