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1. DEVICE AND METHOD FOR COATING CHANNELS OF A SAMPLE BY MEANS OF VAPOR DEPOSITION, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON KANÄLEN EINER PROBE MITTELS ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE

   1. Müller, Manuel
   2. Fernandez-Cuesta, Irene
   3. Zierold, Robert

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