DEVICE AND METHOD FOR COATING CHANNELS OF A SAMPLE BY MEANS OF VAPOR DEPOSITION,VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON KANÄLEN EINER PROBE MITTELS ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Beschichtung von Kanälen mittels Abscheidung aus der Gasphase, wobei gasförmige Präkursoren über mindestens eine mit ersten Kanalenden der Kanäle verbundene Zuleitung den Kanälen zugeführt und zusammen mit Reaktionsprodukten über eine mit den ersten Kanalenden gegenüberliegenden zweiten Kanalenden verbundene erste Ableitung von den Kanälen abgeleitet werden, dadurch gekennzeichnet, dass über die mindestens eine Zuleitung zumindest zwei unterschiedliche Präkursoren abwechselnd dem ersten Kanalende zugeleitet werden, dass während des Zuleitens der Präkursoren durch Erzeugung eines einstellbaren Druckgradienten ein Präkursorstrom entlang einer ersten Strömungsrichtung von der Zuleitung durch die Kanäle hindurch zu der ersten Ableitung geleitet wird, sowie dass über eine mit dem ersten Kanalende verbundene zweite Ableitung nicht reagierte Präkursoren und Reaktionsprodukte abgeleitet werden.