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Medientyp
- Text 1
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Erscheinungsjahr
- 2006 1
Autor/in
- Martin, Regina 1
- Parthier, Lutz
- Petermann, Klaus 1
- Staeblein, Joerg 1
- Wehrhan, Gunther 1
Sprache
- Deutsch 1
1 Einträge gefunden
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Method to produce optical parts for microlithography, associated lens systems and its application uses optical garnets, cubic spinels, cubic perovskites, and cubic M (II) - M (Iv) oxides , Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung
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