Method to produce optical parts for microlithography, associated lens systems and its application uses optical garnets, cubic spinels, cubic perovskites, and cubic M (II) - M (Iv) oxides , Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung

Es wird die Verwendung von kubischen Granaten, kubischen Spinellen, kubischen Perovskiten und kubischen M(II)- sowie M(IV)-Oxiden zur Herstellung von optischen Elementen für die ultraviolette Strahlung beschrieben. Zweckmäßige Kristalle sind Y¶3¶Al¶5¶O¶12¶, Lu¶3¶Al¶5¶O¶12¶, Ca¶3¶Al¶2¶Si¶3¶O¶12¶, K¶2¶NaAlF¶6¶, K¶2¶NaScF¶6¶, K¶2¶LiAlF¶6¶, und/oder Na¶3¶Al¶2¶Li¶3¶F¶12¶, (Mg,Zn)Al¶2¶O¶4¶, CaAl¶2¶O¶4¶, CaB¶2¶O¶4¶ und/oder LiAl¶5¶O¶8¶ sowie BaZrO¶3¶ und/oder CaCeO¶3¶. Ein bevorzugtes optisches Element ist eine Frontlinse in einer Immersionsoptik für die Mikrolithographie für Wellenlängen unter 200 nm.

The method uses cubic garnets, cubic spinels, cubic perovscites and cubic M (II) as well as M (IV) oxides to produce optical parts for ultra-violet radiation. The cubic garnets are Y 3Al 5O 12, LU 3Al 5O 12, Ca 3Al 2Si 3O 12, K 2NaAIF 6, K 2NaScF 6,K 2LiAIF 6and/or Na 3Al 2Li 3F 12. The cubic garnets have the general formula (A 1-xD x) whereby A and D can be the same or different. The cubic spinels are (Mg,Zn)Al 2O 4, CaAl 2O 4, CaB 2O 4and/or LiAl 5O 8. The perovsckites are BaZrO 3and/or CaCeO 3and the cubic II/Vi oxides are MgO and/or (Mg,Zn)O.