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1. Method to produce optical parts for microlithography, associated lens systems and its application uses optical garnets, cubic spinels, cubic perovskites, and cubic M (II) - M (Iv) oxides, Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung

   1. Wehrhan, Gunther
   2. Martin, Regina
   3. Parthier, Lutz
   4. Staeblein, Joerg
   5. Petermann, Klaus

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