DEVICE AND METHOD FOR COATING CHANNELS OF A SAMPLE BY MEANS OF VAPOR DEPOSITION, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON KANÄLEN EINER PROBE MITTELS ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE Müller, Manuel Fernandez-Cuesta, Irene Zierold, Roland 2021 - Forschungsinformationssystem der UHH