Potential of the FLASH FEL technology for the construction of a kW-scale light source for the next generation lithography

Link:
Autor/in:
Beteiligte Personen:
  • Vogel, V. F.
  • Weise, H.
  • Yurkov, M. V.
Verlag/Körperschaft:
Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY
Erscheinungsjahr:
2011
Medientyp:
Text
Lizenz:
  • Kostenfrei zugänglich ohne Registrierung
Quellsystem:
DESY EPflicht
Interne Metadaten
Quelldatensatz
opac-de-18:ppn:1693664429