Während des langen Shutdowns von 2025 bis 2027 (LS3) wird der Large Hadron Collider (LHC) einem Upgrade unterzogen. Die Luminosität des LHC wird von etwa 2 × 1034 cm−2s−1 auf bis zu 7.5 × 1035 cm−2s−1 erhöht, was zu etwa 200 gleichzeitigen Kollisionen in einem Bunch Crossing (25 ns) führt. Die Datenrate ebenso wie der Teilchenfluss durch Komponenten der Experimente werden dadurch vervielfacht. Die Experimente, die am LHC angesiedelt sind, müssen daher ebenfalls einem Upgrade unterzogen werden. Für das Upgrade des Compact Muon Solenoid (CMS) Experiments wird der Silicon Tracker vollständig ersetzt. Die neuen Pixelsensormodule für den Inner Tracker (IT) müssen unter den erschwerten Bedingungen des HL-LHC hohe Anforderungen, unter anderem eine hohe Hit Finding Effizienz (> 99 %) und eine exzellente räumliche Auflösung, erfüllen. In dieser Arbeit wurden Prototypen dieser Sensoren auf ihre Leistung untersucht. Dafür wurden einige der Sensoren bestrahlt, um die Strahlung nach einer bestimmten Laufzeit im CMS Experiment zu simulieren. Die Tests auf Effizienz und Auflösung wurden mithilfe des DATURA Teleskops am Testbeam DESY II in Hamburg durchgeführt. Selbst nach einer Bestrahlung von 2.1 × 1016 neq/cm2, die etwa dem erwarteten Teilchenfluss nach 3000 fb−1 für die erste Lage entspricht, war zu beobachten, dass die getesteten Sensoren bei Spannungen unterhalb von 800 V noch ausreichend gute Effizienz und räumliche Auflösung aufweisen.
During the long shutdown from 2025 to 2027 (LS3), the Large Hadron Collider (LHC) will undergo an upgrade. The luminosity of the LHC will be increased from about 2 × 1034 cm−2s−1 to up to 7.5 × 1035 cm−2s−1, leading to about 200 simultaneous collisions in a bunch crossing (25 ns). Consequently, the data rate as well as the particle flux through components of the experiments will be increased. The experiments located at the LHC will therefore also have to undergo an upgrade. The silicon tracker of the Compact Muon Solenoid experiment (CMS) will be completely replaced. The new pixel sensor modules for the Inner Tracker (IT) will have to fulfil stringent requirements, including high hit finding efficiency (> 99 %) and excellent spatial resolution until the end of their lifetime. In this thesis, the performance of novel prototype sensors for the CMS pixel detector have been tested. For this purpose, some of the sensors were irradiated to simulate the radiation after a certain runtime in the CMS experiment. The tests for efficiency and resolution were performed using the DATURA beam telescope at the DESY II test beam in Hamburg. Even after an irradiation of 2.1 × 1016 neq/cm2, which approximately corresponds to the expected particle flux after an integrated luminosity of 3000 fb−1 by the end of 2037 for the first layer, the tested sensors still show sufficiently good efficiency and spatial resolution at bias voltages below 800 V.