Erzeugung dünner funktionaler Schichten durch chemische Gasphasenabscheidung von Metallen mit Organometallkomplexen

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Autor/in:
Beteiligte Person:
  • Heck, Jürgen (Prof. Dr.)
Verlag/Körperschaft:
Staats- und Universitätsbibliothek Hamburg Carl von Ossietzky
Erscheinungsjahr:
1999
Medientyp:
Text
Schlagworte:
  • 540 Chemie
  • 35.18 Kolloidchemie, Grenzflächenchemie
  • 35.43 Koordinationsverbindungen, Komplexchemie
  • Boride
  • CVD-Verfahren
  • ddc:540
  • Boride
  • CVD-Verfahren
Lizenzen:
  • http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
  • info:eu-repo/semantics/openAccess
  • No license
Quellsystem:
E-Dissertationen der UHH
Interne Metadaten
Quelldatensatz
oai:ediss.sub.uni-hamburg.de:ediss/134