蛍光Ｘ線測定のための方法および測定装置

蛍光を発する標的粒子の存在が検査される対象（１）内で取得され、存在する標的粒子が対象（１）内で位置特定される、蛍光Ｘ線測定のための方法は、（ａ）Ｘ線ビーム（２）が第１の投影方向に平行なＸ線ビーム方向に対象（１）を通って延びる、線源装置（１０）によってＸ線ビーム（２）を生成するステップと、（ｂ）第１の投影面内の多数の走査位置において、Ｘ線ビーム（２）により対象（１）を照射するステップであって、走査位置は、走査装置（２０）によって設定され、走査装置によって、線源装置および対象（１）が互いに動かされる、ステップと、（ｃ）線源装置（１０）にしっかりと接続された検出器アレイ装置（３０）を使用して各走査位置において対象（１）から複数の空間方向に放射された放射Ｘ線を検出するステップであって、検出器アレイ装置（３０）は、多数の空間方向において放射Ｘ線を検出するように配置された多数のスペクトル選択的な検出器要素（３１）と、Ｘ線ビーム方向に対して放射方向に延び、対象（１）内で散乱された放射Ｘ線から検出器要素（３１）を遮蔽し、検出器要素（３１）が対象（１）内のＸ線ビームの体積内のすべての場所からの放射Ｘ線を検出することができるように配置された、複数のスクリーン薄板（３２）とを含む、ステップと、（ｄ）被検出放射Ｘ線内の標的粒子の蛍光Ｘ線を取得するために、および、蛍光Ｘ線が取得された場合、対象（１）内の標的粒子を位置特定するために、検出器要素の検出器信号を処理するステップとを含み、多数の所定の走査位置の各々に関して、有意な検出器要素（３１）のサブセットが求められ、前記検出器要素の検出器信号が、残りの検出器要素（３１）と比較して上昇する統計的有意性によって標的粒子の蛍光Ｘ線の取得を容易にし、有意な検出器要素（３１）が少なくとも１つの走査位置において見つけられた場合、標的粒子の存在が取得され、この走査位置は標的走査位置として確立され、そこで、標的粒子が第１の投影面内で位置特定されるか、または、有意な検出器要素（３１）がどの走査位置にも見つからない場合、標的粒子の存在がまったく取得されない。蛍光Ｘ線測定装置についても説明する。