METHOD AND DEVICE FOR COOLING AN OPTICAL ELEMENT,VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KÜHLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS

Verfahren und Vorrichtung zur Kühlung eines optischen Elements (12). Das Verfahren beinhaltet das Bereitstellen eines optischen Elements, insbesondere eines optischen Substrats. Ferner beinhaltet das Verfahren das Bereitstellen eines Wärmeleitmittels (26), das miteinander in Kontakt stehende Filamente aufweist. Um das optische Element zu kühlen, wird eine Verbindung von dem Wärmeleitmittel und dem optischen Element hergestellt. Ferner ist vorgesehen, das Wärmeleitmittel an eine Wärmesenke (24) zur Ableitung von Wärme aus dem optischen Element anzuschließen.