Ein Verfahren zur Röntgenfluoreszenz-Messung, bei dem das Vorhandensein von fluoreszierenden Targetpartikeln in einem zu untersuchenden Objekt (1) erfasst und vorhandene Targetpartikel im Objekt (1) lokalisiert werden, umfasst die Schritte (a) Erzeugung eines Röntgenstrahls (2) mit einer Quelleneinrichtung (10), wobei der Röntgenstrahl (2) durch das Objekt (1) in einer Röntgenstrahlrichtung parallel zu einer ersten Projektionsrichtung verläuft, (b) Bestrahlung des Objekts (1) mit dem Röntgenstrahl (2) an einer Vielzahl von Scanpositionen in einer ersten Projektionsebene, wobei die Scanpositionen mit einer Scanneinrichtung (20) eingestellt werden, mit der die Quelleneinrichtung und das Objekt (1) relativ zueinander bewegt werden, (c) Detektion von Röntgen- strahlung, die aus dem Objekt (1) in eine Vielzahl von Raumrichtungen abgestrahlt wird, an jeder Scanposition mit einer Detektorarrayeinrichtung (30), die mitder Quelleneinrichtung (10) fest verbunden ist, wobei die Detektorarrayeinrichtung (30) eine Vielzahl von spektral selektiven Detektorelementen (31), die zur Detektion der Röntgenstrahlung in der Vielzahl von Raumrichtungen angeordnet sind,und eine Vielzahl von Blendenlamellen (32) aufweist, die sich in Radialrichtungen relativ zu der Röntgenstrahlrichtung erstrecken, die Detektorelemente (31) von im Objekt (1) gestreuter Röntgenstrahlung abschirmen und so angeordnet sind, dass die Detektorelemente (31) Röntgenstrahlung von jeglichen Orten innerhalb des Volumens des Röntgenstrahls im Objekt (1) detektieren können, und (d) Verarbeitung von Detektorsignalen der Detektorelemente, um in der detektierten Röntgenstrahlung Röntgenfluoreszenz von Targetpartikeln zu erfassen und bei Erfassung der Röntgenfluoreszenz die Targetpartikel im Objekt (1) zu lokalisieren, wobei für jede von einer Vielzahl von vorbestimmten Scanpositionen eine Teilmenge von signifikanten Detektorelementen (31) gesucht wird, deren Detektorsignale die Erfassung der Röntgenfluoreszenz der Targetpartikel mit einer im Vergleich zu den übrigen Detektorelementen (31) erhöhten statistischen Signifikanz ermöglichen, und, wenn an mindestens einer Scanposition signifikante Detektorelemente (31) gefunden werden, das Vorhandensein von Targetpartikeln erfasst und diese Scanposition als Target-Scanposition ermittelt wird, an der die Targetpartikel in der ersten Projektionsebene lokalisiert sind, oder, wenn an keiner Scanposition signifikante Detektorelemente (31) gefunden werden, erfasst wird, dass keine Targetpartikel vorhanden sind. Es wird auch eine Röntgenfluoreszenz-Messvorrichtung beschrieben.