Abtragsverhalten von Einkristallen und Strukturierung von Siliziumnitrid-Membranen mittels Fokussiertem Ionenstrahl

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Autor/in:
Erscheinungsjahr:
2013
Medientyp:
Text
Schlagworte:
  • Experimentalphysik
  • Einkristall
  • Sputtern
  • Hochschulschrift
Lizenz:
  • info:eu-repo/semantics/openAccess
Quellsystem:
Forschungsinformationssystem der UHH
Interne Metadaten
Quelldatensatz
oai:www.edit.fis.uni-hamburg.de:publications/538297fe-ba77-414c-ac81-5aee8e393b45