Improving thin-film manufacturing yield with robust optimization
- Link:
- Autor/in:
- Erscheinungsjahr:
- 2011
- Medientyp:
- Text
- Lizenz:
-
- info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
- Quellsystem:
- Forschungsinformationssystem der UHH
Interne Metadaten
- Quelldatensatz
- oai:www.edit.fis.uni-hamburg.de:publications/d8c0182b-9cbe-467f-a2c5-2b5c3c523a1e