SENSOR FOR MEASURING TWO PROPERTIES OF A GAS,SENSOR ZUR MESSUNG VON ZWEI EIGENSCHAFTEN EINES GASES

Dargestellt und beansprucht ist ein Sensor zur gleichzeitigen Messung zweier Eigenschaften eines Gases mit einer nanomechanischen, vorgespannten Messmembran. Die Messmembran erstreckt sich in einer Membranebene, die in einem Koppelabstand parallel zu einer Koppelfläche verläuft, und mit dem Gas in Kontakt ist. Ein Koppelvolumen zwischen der Messmembran und der Koppelfläche ist über zumindest eine Austauschöffnung mit einer Umgebung des Sensors verbunden, so dass durch die zumindest eine Koppelöffnung Gas zwischen dem Koppelvolumen und einer Umgebung des Sensors ausgetauscht werden kann. Der Koppelabstand wurde so gewählt, dass aus einem Schwingungsverhalten der Messmembran die beiden Eigenschaften des Gases bestimmt werden können.

The invention presents and claims a sensor for simultaneously measuring two properties of a gas with a nanomechanical, prestressed measuring membrane. The measuring membrane extends in a membrane plane which extends at a coupling distance from and parallel to a coupling surface and is in contact with the gas. A coupling volume between the measuring membrane and the coupling surface is connected to an environment of the sensor via at least one exchange opening, such that gas can be exchanged between the coupling volume and an environment of the sensor through the at least one coupling opening. The coupling distance has been chosen such that the two properties of the gas can be determined from a vibration behavior of the measuring membrane.