SENSOR FOR MEASURING TWO CHARACTERISTICS OF A GAS,SENSOR ZUR MESSUNG VON ZWEI EIGENSCHAFTEN EINES GASES

Dargestellt und beansprucht ist ein Sensor zur gleichzeitigen Messung zweier Eigenschaften eines Gases mit einer nanomechanischen, vorgespannten Messmembran. Die Messmembran erstreckt sich in einer Membranebene, die in einem Koppelabstand parallel zu einer Koppelfläche verläuft, und mit dem Gas in Kontakt ist. Ein Koppelvolumen zwischen der Messmembran und der Koppelfläche ist über zumindest eine Austauschöffnung mit einer Umgebung des Sensors verbunden, so dass durch die zumindest eine Koppelöffnung Gas zwischen dem Koppelvolumen und einer Umgebung des Sensors ausgetauscht werden kann. Der Koppelabstand wurde so gewählt, dass aus einem Schwingungsverhalten der Messmembran die beiden Eigenschaften des Gases bestimmt werden können.