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Erscheinungsjahr
- 2010 1
Autor/in
- Alexe, M. 1
- Bachmann, J. 1
- Gerlach, J. W.
- Hiller, D.
- Hilmer, H. 1
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Sprache
- Englisch 1
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Low temperature silicon dioxide by thermal atomic layer deposition:investigation of material properties
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