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1. Depth-profile analysis of thermoelectric layers on Si wafers by pulsed r.f. glow discharge time-of-flight mass spectrometry

   1. Reinsberg, Klaus-Georg
   2. Schumacher, Christian
   3. Tempez, Agnès
   4. Nielsch, Kornelius
   5. Broekaert, José Alfons Clement

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